Vakuum Messtechnik Gapshasenabscheidung

Vakuum-Messtechnik zur chemischen und physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD / CVD)

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VAKUUM-MESSGERÄTE FÜR PVD / CVD ANWENDUNGEN

Vakuummeter für Beschichtung und Aufdampfen

Vakuummessgerät VSP mit Pirani Sensor für CVD / PVD

  • Zuverlässiger gepulster Pirani Vakuumsensor
  • Sehr gute Reproduzierbarkeit
  • Vakuumsensor mit grossem Messbereich (1 x 10-4 mbar) bei hoher Auflösung
  • Einrichtung des Vakuummeters per Knopfdruck möglich
  • Mit PtRh Filament für korrosive Gase geeignet
  • Einfache Integration in bestehnde Vakuumanlagen möglich.

Vakuummessgerät VSM mit Pirani Sensor für PVD und CVD

  • Haltbarer Pirani Vakuumsensor
  • Die Haltbarkeit des Kombi-Messgerätes wird verlängert durch Zuschalten des Kaltkathoden-Vakuumsensors bei niedrigem Druck.
  • Der Sensorkopf des Vakuum-Messgerätes ist problemlos austauschbar
  • Durch verschiedene Gasartkorrekturfaktoren, für die beiden Vakuumsensoren separat einstellbar, werden korrekte Messwerte zugesichert.
  • Vakuummessgerät mit zwei von einander unabhängigen „Schaltpunkten“ (Relais)

Vakuummessgerät mit kombiniertem Pirani-Vakuumsensor und Bayard-Alpert Vakuumsensor für Beschichtung

  • Sehr gute Genauigkeit und Reproduzierbarkeit des Vakuumsensors
  • Durch Benutzung des Bayard-Alpert Vakuumsensors bei niedrigen Drücken wird die Haltbarkeit des Vakuummeters erhöht
  • Die Sensorköpfe des Vakuummessgerätes sind einfach austauschbar und das Messgerät ist ausheizbar bis 180° C (ohne Elektronik)
  • Korrekte Messwerte sind auch bei verschiedenen Gasarten durch spezifische Gasartkorrekturfaktoren möglich
  • Der Heisskathoden-vakuumsensor hat ein Reservefilament, was im Falle des Versagens des ersten Filamentes automatisch übernimmt.
  • Unempfindlich gegenüber Lüfteinbrüchen
  • Zwei von einander unabhängige Relaisschaltpunkte

u.A. geeignet für folgende Anwendungen:

  • Vakuummessgerät für Dünnfilmbeschichtung
  • Vakuummeter für Flachbildbeschichtung
  • Photovoltaik und Glasbeschichtung
  • Vakuumsensor für ätzende Gase
  • Vakuummessgerät für CVD (chemical vapor deposition)
  • Vakuummeter für PVD (physical vapor deposition)
  • Vakuummessgerät für optische Beschichtungen
  • Vakuummessgeräte für die Halbleiter-Industrie

VCC200 – Kapazitiver Vakuumtransmitter zur Gasphasenabscheidung

Kapazitives Vakuummeter für CVD, PVD

  • Robuster, kapazitiver Vakuumsensor
  • Korrosionsfreier Aluminium-Oxyd Keramik Vakuumsensor
  • Messungen sind unabhängig von der Gasart
  • Der Messbereich beträgt 200- 0.1 mbar

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u.A. geeignet für folgende Anwendungen

  • Vakuumsensor für Gasphasenabscheidung (CVD)
  • Vakuummessgerät für die Halbleiterherstellung

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For our English visitors: Overview of our Smartline Vacuum Gauges

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